依照发热体在真空容器的内部和外部，真空热处理炉可分为内热炉和外热炉。
　  1、外热式真空热处理炉在这种真空炉的炉罐外面有一般的空气炉，通过对真空容器加热，对工件进行旁热式加热。这种热处理炉的热效率差，冷却时间也长。此外，因工件和炉罐之间有温差、真空外压还将导致炉罐的变形和破损。这种热处理炉尽管廉价，但不合适实践工业出产。
　  2、内热式真空热处理炉内热式是在真空容器内有电热体和绝缘物，容器自身为水冷。处理温度低时，仅对真空密封部份水冷或不水冷。与外热式比较，内热式真空炉因工件面临发热体，所以热效率高。发热体材料有电热合金（如Fe-Cr、Ni-Cr、Fe-Cr-Al）、半金属（SiC、MoSi2）、以及锆发热体（ZrO2）等。
　  3、模具真空热处理打开趋势及要害技术根据美国金属学会热处理学会、美国金属处理研究院、美国能源部工业技术厅对美国热处理工业2020年打开远景的猜测，未来的热处理工业要有一流的质量，出产具有零改变率的产品零件，在整个工艺中，零分散度是典型的，能量利用率提高到80，工作环境出色，清洁无污染，出产中选用标准的闭环控制系统，智能系统控制抉择产品的功用，归纳技术的效果使工艺时间减少50，本钱下降75。所有这些想象，为真空热处理技术的打开供给了广阔的舞台和机会。美国其时产品热处理出产中，真空热处理占15，这一打开趋势往后将进一步增加。