石墨热场简略的说就是用来拉单晶硅的整套石墨加热系统。最常见的是18寸的石墨热场。
    石墨热场的组成部分如加热器、三瓣埚、石墨托、热屏等均由石墨加工而成。在生产过程中，经常能碰到加热器材损坏的现象，石墨器材的损坏，主要有人为和劣化两个方面的原因。人为方面只要加强管理，强化职工防范意识，就可以将丢失降到最低点。这里主要讨论劣化。
    首要咱们来了解石墨的有关特性，
    1.耐高温性，石墨的熔点极高，在真空为3850度，在低压下提高，提高温度为2200度，与一般资料不同，当温度升高时石墨不但不软化，强度反而增高，在2500度时，石墨的抗拉强度反而增加一倍。
    2.特别的抗热震性，石墨的热膨胀性具有各向异性，因此微观膨胀系数不大，在温度突变的情况下，石墨的体积变化也不大，再加上其杰出的导热性能，因此石墨的抗热震性杰出。
    诸上两点所述，石墨件应该可以长时刻的在高温下稳定作业。
    跟着社会经济的发展，许多单晶硅生产厂家在石墨热场的使用都是比较娴熟的，原因是有两点：榜首、石墨毡保温效果好，厚度到达100毫米，有效的保证了径向梯度温度或许小的条件，第二、热长达的原因可所以石墨坩埚的厚度到达250毫米，扎样可所以上中下保温桶的口径也会足够大，有充分的纵向的散热功能。众所周知石墨坩埚使用方法上的存在的问题就会导致石墨坩埚使用时刻削减，从而也给生产商自己增加了本钱。
    在通常情况下，瓣埚与其他石墨器材如保温罩、加热器比较，都是相同的资料、同一个厂家、相同的作业环境，三瓣埚简单断裂。三瓣埚的断裂主要原因来自于石英坩埚。
    1.因为熔硅的密度要大于固体硅，这样在冷却过程中，锅底料会撑破石英坩埚，而石英坩埚是贴合于三瓣埚的，当石英坩埚决裂而产生的应力大于三瓣埚承受的应力时，三瓣埚就会断裂，这就是为什埚底料剩下过多会撑破三瓣埚的原因。
    2.加热时刻过长、石英坩埚质量不过关、原料酸碱度未到达要求，会导致漏硅和渗硅，熔硅渗入三瓣埚之间的缝隙之间冷却后一是撑坏三瓣埚，二是使三瓣埚彼此粘接，在清炉时，使其别离有或许形成断裂。
    3.在加热过程中唯有三瓣埚的热源来自两个方面，一是加热器的辐射，二是来自于石英坩埚的传导，这就导致三瓣埚受热不匀，加热时沿某些方向膨胀，沿另一些方向收缩，从而导致三瓣埚断裂。