真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及惯例烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺配备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完结多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。下面，小编就为您介绍真空烧结炉的应急办法。

压缩空气的中止
       1、压缩空气反常报警时，设备处于中止状况，应赶快到备用的紧缩机房，让其康复工作。
       2、真空中如紧缩空气反常报警，且康复需求较长时刻时，则终止真空，让设备停下来。   
高真空烧结炉冷却水反常
       1、承认加热电源已中止。
       2、炉外产生漏水，冷却水量反常时，应赶快采纳应急办法，如能确保水量，请持续保持真空，如不能采纳应急办法，保持原状，承认设备冷却下来。
       3、冷却水产生反常时，设备处于中止状况，立刻接通紧急用冷却水。
       4、在高温(超过200℃即视为高温)时，假如冷却水中止了，不能紧急送水，水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。
停电
       1、停电时，假如断水，应立即接通备用的冷却水，接通水源。
       2、假如在非升温、加热和冷却时，能够赶快康复时，重新启动设备，持续工作如需求较长时刻，则将设备保持原状。
       3、假如正在加热和冷却时，能够赶快康复时，重新启动设备，假如需求较长时刻时，则保持原状，让设备自然冷却下来。
加热电源掉电
      1、水压低，当水压低于0.15MPa，压力表报警。
      2、接地故障。
      3、真空放电，水冷电极接头与加热器连接处有必要连接结实，与反射屏绝缘要好。
      4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易产生放电)。电源出现故障，掉电的原因可以以为因为电介质击穿而引起的放电。
充气气体(氩气或氮气)中止
      1、抽真空开端前，气体充入时刻长或许无法充入时，请承认气体管路是否被阻塞。
      2、如气体管路没问题，检查电磁阀及气体充气阀的动作，为了安全与其相关联的设备要悉数中止后再进行检查。
      3、向真空室内充气不能中止的状况下，泄压阀动作如泄压阀动作时，要封闭气体供应阀及配管在内的所有气体系统。
      4、承认气体充气配管是否有漏气的地方，如有会影响制品质量。
真空室压力恶化
      1、真空排气时刻比通常长时，应把设备停下来进行检查，根据真空室内构造物不同状况下放气的影响，也有导致压力升高的状况。
      2、经过压力上升测验或许用氦气检漏来承认是漏气还有放气的影响。
在真空和保护性气氛中，对金属、陶瓷及一些难熔金属中间化合物粉末加热烧结，要获得一定密度和具有一定机械性能的资料时，一般采用两种工艺;即有压烧结和无压烧结。有压烧结工艺是将粉状资料置于真空和保护性气氛中的高碳模具中，高温加热到软化状况时，加压成型。这种工艺需求一种真空热压烧结才干完成。该烧结炉具有温度高、真空度高、热压力高的特点。现在这种炉型在我国还未见定型产品。