1. 一种用于粉末冶金的晶圆封装石墨模具，包括上加压柱、模具套筒及模具底座，其特征在 于:还设有外镶嵌片和内镶嵌片，外镶嵌片位于模具套筒内，紧贴模具套筒内壁，内镶嵌片 位于外镶嵌片内且紧贴外镶嵌片内壁，内镶嵌片底端高度大于外镶嵌片底端高度，模具底 座顶端呈台阶状，且顶端凸起尺寸与外镶嵌片内壁尺寸配合伸入到外镶嵌片内壁中，内镶 嵌片底端置于顶端凸起上，模具套筒的底端和外镶嵌片的底端位于模具底座顶端台阶上。
2. 如权利要求1所述的一种用于粉末冶金的晶圆封装石墨模具，其特征在于:所述的外镶嵌 片和内镶嵌片都是由两个半圆片组成。
3. 如权利要求1所述的一种用于粉末冶金的晶圆封装石墨模具，其特征在于:所述的上加压 柱顶端与模賊座底端具有相同的形状和尺寸，与热压烧结炉内部加压柱尺寸相匹配。
4. 如权利要求1所述的一种用于粉末冶金的晶圆封装石墨模具，其特征在于:所述的上加压 柱的下部麵为隱、方形、三娜或其傾要的试娜状;上加雖伸人_嵌片内，与 内镶嵌片的型腔的形状、尺寸匹配。
5. 如权利要求1 所述的一种用于粉末冶金的晶圆封装石墨模具 ， 其特征在于:所述的上加压 柱的下部  相匹配。

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