煅烧石墨加工的操作规程：
一、作业分配
提供高纯度的石墨卡瓣和石墨基座，为生产优质太阳能级多晶硅奠定基础。
二、职位的责任
1、煅烧石墨零件的制备
2、石墨零件的清洗
3、石墨零件的干燥
4、石墨零件的煅烧
三、流程原理
石墨加工中挥发性物质经过高温煅烧除去，以避免杂质污染多晶硅在还原和拉伸硅芯。
四、工艺目标
1、真空泵低真空至30格栅(1x 10-3齿轮)
2、分散泵高真空到90格栅(1x 10-3齿轮)
3、焙烧炉高压启动后20分钟升压，每次0.5V。
4、煅烧炉温度至1550℃
五、泊车及紧迫泊车程序及操作方法
1、沸腾冷却水阀
2、翻开真空泵
3、闭式分散泵制动刀、预热分散泵
4、当低真空达到30格栅(1x 10-3齿轮)时，翻开真空阀，封闭低真空阀。
5、翻开高真空阀，高到90格栅(1x 10-3齿轮)
6、翻开高压开关，20分钟后升高电压。当真空度等于80-90格时，压力增加到8（x5），炉温为1550℃，恒温2-3小时。
7、停止：缓慢冷却，通常10分钟，停止高压电源，停止分散泵，封闭真空阀，停止炉子，封闭冷却水阀。
8、拆炉：拆炉后，戴好口罩和高纯手套，将石墨件拆下，用干净的塑料袋密封。
9、紧迫泊车：先停真空泵，然后停电，最终停水。
六、石墨加工常见事端的剖析与处理
（1）停水：立即封闭真空泵阀门，然后封闭电源。
（2）停电：封闭真空泵阀门，等候石墨炉和分散泵温度降至室温，然后封闭电源，最终封闭循环水阀门。
（3）不能抽真空：停炉查看密封件的密封状况。
七 连锁、报警
水压、温度、真空、电压和电流
八、设备清单
循环水体系、真空体系、分散泵、石墨煅烧炉
九、石墨加工工艺流程
石墨清洗→装炉→抽真空→开炉→升温→恒温→降温