真空炉密封外壳由碳钢或不锈钢焊接而成。

真空炉出现在20世纪30年代左右。1927年，美国制造了电工材料真空退火炉。1953年，工业上使用真空自耗电弧炉冶炼海绵钛。20世纪50年代左右，真空感应炉在工业上得到广泛应用。1960年，美国研制出油淬真空炉。

真空炉一般由炉腔、电加热装置、密封炉壳、真空系统、电源系统和温度控制系统组成。炉壳采用碳钢或不锈钢焊接，可拆卸部件的结合面采用真空密封材料密封。为了防止炉壳变形和密封材料受热变质，炉壳一般采用水冷或风冷冷却。炉子位于密封的炉壳内。根据炉子的用途，不同类型的加热元件，如电阻器、感应线圈、电极和电子枪，安装在炉子内部。在冶炼金属的真空炉炉膛内安装坩埚，有的还配有自动浇注装置和装卸物料的机械手。真空系统主要由真空泵、真空阀和真空计组成。

由于真空炉的种类和类型很多，维护和检修项目也不一样。维护和检查内容应根据炉子的技术文件划分为每次、每天、每月、每半年和每年要进行的项目。

对于带气镇功能的空泵，应在每天开炉前进行检查，并根据需要开启30分钟，以排除泵油中的水分。

经常检查冷却水、压缩空气、液压系统的压力和冷却水的流量。

真空炉中的压力可以被泵入低于大气压的工业炉中。真空炉电加热，加热工件表面不氧化，不脱碳，变形小，机械性能好。真空炉熔化金属有利于去除杂质，成品针孔少，偏析小，质量好。真空炉适用于熔炼和加热高质量、高纯度的难熔金属，如钨、钼、钽、铌、钛、耐热合金钢以及磁性材料、电工材料、高强度钢、不锈钢、工具钢和模具钢的热处理。

关门前应检查炉门橡胶密封和法兰面，不能有沙子和杂物。用千网布擦拭橡胶密封和法兰面，然后在关闭炉门前均匀涂抹真空油脂。

工件在入炉前必须清洗干净。油淬后，应将浸油料架和载体部件上的油全部清洗干净。

风冷电机是常用电机，不能在真空下启动。它们必须充气后才能启动，并应有电气联锁保护装置保护。

罗茨泵只有在真空度高于133Pa时才能启动，并应有电气联锁保护装置保护。