真空炉温度均匀性的测量过程

1.准备工作

测量热电偶和温控热电偶应按GB/ J351 —1996《中华人民共和国国家计量鉴定规程》的有关规定进行测试，合格后方可测量炉温均匀性。从炉体上取下测温孔盖板，依次放上9个测试合格的热电偶的密封垫片和橡胶垫片，从法兰孔引入炉腔，按图1所示位置依次固定在炉门处的支撑架上。支撑架的尺寸就是有效加热尺寸。小心地将支撑框架移动到炉腔中，将其放置在炉膛上，并调整其位置以与有效加热空间重合。固定测温法兰的热电偶孔，依次放上密封垫片，在橡胶垫片上涂上真空油脂，拧紧压紧螺栓，安装法兰。按照操作程序依次手动启动真空机械泵和真空罗茨泵，然后停止30分钟，直到工作真空度达到2 Pa，观察真空表的读数，看压力上升率是否在正常的0。5pa/h，如果正常，继续测量炉温均匀性。如果不正常，重新调整紧固螺栓，重新测量压力上升率。直到正常，我们才能继续测量炉温均匀性。

2.确定过程

根据工艺要求，测量温度点为650℃、850℃和1000℃，温升曲线设置在FP21温度控制仪上。将热电偶控制在设定温度120分钟后，开始测量每个热电偶的值。每隔5分钟读一次，连续读3次。如果每个点的温度都在要求温度的5℃以内，则该温度点的测量结束；否则，保持等温，直到温度均匀或时间达到3h(工艺设定的保温时间)，记录各点温度。调节FP21仪表，将温度从650℃升至850℃，保持120分钟，在650℃时重复测量步骤。

温度也从850℃升至1100℃，保温120分钟，重复650℃的测温步骤。以上数据分别填写在记录单上，测量完成后，按正常的空炉降温步骤降温。

3.恢复设备

打开炉门，拉出测量支架，拆下固定热电偶的导线，取下法兰，装上原盖板，按正常使用测试升压率，按操作程序依次手动启动真空机械泵和真空罗茨泵，停机30分钟，直至工作真空度达到2Pa。观察真空表的读数，看压力上升率是否在正常值0。5pa/h，如果合格，继续，设备可以正常使用。否则，继续。从温度测量法兰上拆下测量热电偶，并小心地将其弄直，以防止热电偶断裂或损坏。