真空扩散泵的循环冷却水在工作过程中必须保持畅通。停止加热后，泵的工作流体必须完全冷却。当温度低于30℃时，冷却水可以关闭。扩散泵停止工作或暂时不用时，应保持泵处于真空状态，以免泵油污染和腐蚀各部件。泵送的气体应干燥、无腐蚀性、无尘。
清洗真空钎焊炉门镁粉要求三天清洗一次，炉内每班清洗一次。
要定期检查真空钎焊炉的压缩空气管道是否老化漏气，否则要及时更换。