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产品类型 石墨制品
产品品牌 捷诚
产品简介 目前在直拉硅棒的生产过程中,我们使用的单晶炉的石墨热场采用的是直筒设计,即保温筒的上、中、下三部分都是和底护盘一样大小。这种单晶炉散热快,能耗高,保温筒内温度梯度不理想,气体流通不畅,不利于去除杂质,容易产生次品。 本实用新型的目的是提供一种炉内具有理想温度梯度的桶式单晶炉的石墨热场本实用新型采用的技术方案是石墨热场一种筒式单晶炉,包括保温桶、导流管、加热器、石墨坩埚、应时坩埚和护底板;应时坩埚和石墨坩埚位于加热器内;

捷诚石墨

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商品描述

目前在直拉硅棒的生产过程中,我们使用的单晶炉的石墨热场采用的是直筒设计,即保温筒的上、中、下三部分都是和底护盘一样大小。这种单晶炉散热快,能耗高,保温筒内温度梯度不理想,气体流通不畅,不利于去除杂质,容易产生次品。
本实用新型的目的是提供一种炉内具有理想温度梯度的桶式单晶炉的石墨热场本实用新型采用的技术方案是石墨热场一种筒式单晶炉,包括保温桶、导流管、加热器、石墨坩埚、应时坩埚和护底板;应时坩埚和石墨坩埚位于加热器内;保温筒位于加热器外部,并安装在炉底保护板上;导流筒位于应时坩埚和石墨坩埚的上方,在保温筒内;其特征在于保温筒分为上、中、下三层,上、中、下三层呈塔形,即上层最小,中层次之,下层最大。炉底保护板大于保温筒的下层。采用本实用新型,保温筒的上部空间相对缩小,可以增强保温效果,节约能源,上中层之间可以形成理想的温度梯度,下层空间相对扩大,空气流动顺畅,可以排除杂质,提高产品质量;另外,底部护板比保温筒的下层大,更有利于在保温筒外面加保温毡(石墨制)提高保温效果。



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